一、
设备概况
A. 晶洲(kzone)清洗设备-SI刻蚀清洗台设备名称:Si刻蚀清洗台
B. 晶洲(kzone)清洗设备-SI刻蚀清洗台设备型号:KZIC-T-GETW-03B
C. 晶洲(kzone)清洗设备-SI刻蚀清洗台整机尺寸:约1800mm(L)×1200mm(W)×1800mm(H);
D. 操作台面高度:850±20mm
E. 被清洗工件规格:6英寸圆片,25片/篮(180mm*145mm*180mm);
F. 产能:1篮,25片/批;
G. 节拍 :0~99min 可调 ;
H. 设备类型:半自动;
二、 设备构造
A. 晶洲(kzone)清洗设备-SI刻蚀清洗台骨架:国产优质Q235A骨架外包3mm厚PP-W板保护;
B. 晶洲(kzone)清洗设备-SI刻蚀清洗台外壳:10mm厚德国劳士领PP-W板焊接而成;
C. 磁力搅拌器:国产优质带加热磁力搅拌器,满足6-8寸烧杯使用;
D. 冲洗槽:德国进口10mm PP-N板热熔焊接而成;
E. 管路:管路位于机台下/后部,管道采用PPHP和PPN、PFA管路相互配合使用;
F. 排风:根据流体学原理设计位于机台后上部,并配有导流和风量自动调节装置--设备抽风口配置比例调节
阀门,配合上下推拉门使用,门开口越大抽风发口打开越大,反之亦然;
G. 工作照明:机台顶部配防腐防爆照明;
H. 设备后板抽风口上方焊接一条载物台,用于盛放烧杯,
手套等物品;
I. DI/N2 GUN:设备配美国应特格PFA可伸缩的N2 Gun和DIW Gun各2把,置于工作设备做侧;
J. 电器部分:采用
开关按钮控制,电器元器件均采用Schneider&Omron;
联系电话:0512-52992666-8009/8010
传真:0512-52210111
邮箱:sales@kzonetech.com
联系人:张翠平
手机:18852441913