适用于：2-6寸晶圆清洗
产品规格
控制模式：半自动控制（工件搬运为手动操作，工艺参数控制过程为自动）
整机尺寸：约2000mm（L）×1200mm(W)×1800mm(H)
操作台面高度：850±20mm
工件：2-6英寸晶圆
产能：25片/槽，50片/槽可按客户产能需求设计
电源：380V 三相五线制，50HZ,5KW
纯水：CL-PVC 进口DN25 管径，0.2～0.3 MPa 压力，用量MAX:1m3/h
抽风口：φ200*1 抽风量MAX:1000m3/h ,风量口装有蝶
阀，可手动调节
CDA: 0.4～0.6 MPa 压力，接管口径 ∮8mm,用量MAX:1m3/h
N2: 0.4～0.6 MPa 压力，接管口径 ∮8mm,用量MAX:1m3/h
设备特点：
1.led清洗设备骨架采用国产优质Q235A 骨架外包3mm 厚PP-W 板保护；外壳采用10mm 厚德国劳士领PP-W 板焊接而成；
2. led清洗设备采用10.4英寸“PROFACE”触摸屏人机界面操作和“三菱”PLC控制；
3. led清洗设备的槽体设置温度、液位监控装置；
4. led清洗设备的药液槽配透明槽盖，有效防止药液挥发，污染；
5.led清洗设备清洗区域配有高效过滤器，无二次污染机会；
6.led清洗设备采用耐腐蚀导线并通过耐腐蚀PE 管进行保护，防腐防水；
7.led清洗设备底部安装3mm 厚PP 防漏托盘，有效防止设备漏液损害厂务
地板；
8.用户操作人员上料后，全过程自动化控制，减少人工干预。设备具有自动化程度高、运行成本低、生产效率高、性能稳定、安全可靠等特点；
9.led清洗设备安全性能高，设备在防漏液、加热、漏电等方面都做了严格的设计，确保人身和厂务安全；
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