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为在工具、刀具、模具上镀硬质或超硬保护膜而设计。真空镀室的真空密封和室内运动部件的设计和用材，充分考虑可承受高温，配置多只高效园形电弧蒸发源，或配多个矩形平面电弧蒸发源，也可配多只空心阴极，同时配置耐冲击的、具有优异灭闪弧性能的偏压电源，保证足够等离子体密度和反应活性，提高膜层致密性和结合力。工件可三维运动，提高膜层均匀性。全自动控制提高工艺稳定性。可镀制TiN、TiC、TiCN、TiAlN、TiAlCN、TiCrN、TiCrCN、TiAlCrN、多层超硬膜等，应用于精密模具业（冲压模具、剪切模具、标准件模具、成型模具等）、工具行业（钻头、硬质合金、铣刀、拉刀、丝锥和齿轮刀具等），汽车工业（活塞、活塞环、合金轮毂等）。
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