微针阵列 超精密加工

微针阵列 超精密加工 目前公司已经形成下述生产加工能力： 超精密加工 实现了纳米级机械加工，其加工设备的定位分辨力达0.034nm。适于加工球面、非球面、菲涅尔反射镜、天体望远系统反射镜和多面棱镜等各种超精密元件以及各种透镜的纳米级表面注塑模具。 自由曲面加工 实现了自由曲面的超精密加工，成功开发出复眼反射镜、螺旋反射镜、非球面透镜阵列、正弦曲面阵列、微棱反射镜等典型光学自由曲面元件，并具备相应的生产能力。 脆性材料加工 实现了硬脆材料如玻璃、陶瓷、刚玉、硬质合金、铁氧体等的复杂曲面精密加工，可达到传统加工方法难以满足的工件技术要求，表面粗糙度可达0.2μm。 聚焦离子束（FIB）加工 同步实现FIB加工和SEM（扫描电镜）测量，具备纳米加工-纳米原型设计-2D/3D纳米表征-纳米分析（包括：3维重构、STEM分析、能谱分析等）能力,实现微/纳米元件（如三维微/纳结构、微刀具、碳纳米管器件等）的制备和性能检测。 微注塑成型加工 利用自主开发的微型模具，在精密注塑机上进行高精度、复杂形状元件（如：球面及非球面透镜、自由曲面光学元件、高深宽比微纳器件、微纳结构阵列等）的微注塑成型，可应用于光学领域微纳核心关键件的成品制造。 微纳测量 具备表面轮廓、形貌、粗糙度测量与分析的能力，可对表面起伏大、包含陡峭边沿（倾斜角度可达90°）的非球面光学镜面及模具实现全自动、高精度的测量和分析。 利用以上的研发、生产与加工服务能力，客户已由国内企业、科研院所、大专院校拓展到美、日、德等微纳制造技术发达地区。