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在超纯水设备的生产过程中，水中的阴阳离子可用电渗析法、反渗透法及离子交换技术等去除，水中的颗粒一般可用超过滤、膜过滤等技术去除;水中的细菌，目前国内多采用加药或紫外灯照射或臭氧杀菌的方法去除;水中的TOC则一般用活性炭、反渗透处理。在高纯水的应用领域中，水的纯度直接关系到器件的性能、可靠性，因此高纯水要求具有相当高的纯度和精度。
电子工业对用水的纯度要求较高，对水的电导率和电阻率都有明确的要求，用水只有达到要求才能被采用，超纯水超纯水处理设备的出水完全可以满足电子工业对用水的水质要求。目前制备电子工业用超纯水的工艺基本上是以上三种，其余的工艺流程大都是在以上三种基本工艺流程的基础上进行不同组合搭配衍生而来。现将他们的优缺点分别列于下面：
1、第一种采用离子交换树脂其优点在于初投资少，占用的地方少，但缺点就是需要经常进行离子再生，耗费大量酸碱，而且对环境有一定的破坏。
2、第二种采用反渗透作为预处理再配上离子交换设备，其特点为初投次比采用离子交换树脂方式要高，但离子设备再生周期相对要长，耗费的酸碱比单纯采用离子树脂的方式要少很多。但对环境还是有一定的破坏性。
3、第三种采用反渗透作预处理再配上电去离子(EDI)装置，这是目前制取超纯水最经济，最环保用来制取超纯水的工艺，不需要用酸碱进行再生便可连续制取超纯水，对环境没什么破坏性。其缺点在于初投资相对以上两种方式过于昂贵。
反渗透技术是目前电子工业超纯水设备中最先进的处理工艺同时也是处理效果最理想的处理工艺已经到达广泛应用。?反渗透（简称RO）是膜分离技术的一种。其原理是：用足够的压力使溶液中的溶剂（通常指水）通过反渗透膜分离出水，因它的运行与自然界的正常渗透过程相反，故称反渗透（或称逆渗透）。随着膜技术的发展，膜性能不断提高，反渗透技术将发展成为进行分离、分级、提纯和富集的化工分离新技术。