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目前废气处理设备对低温等离子体的作用机理研究以为是粒子非弹性碰撞的结果。一方面打开了气体分子键，天生一些单分子和固体微粒；另一力生．OH、H2O2．等自由基和氧化性极强的O3，在这一过程中高能电子起决定性作用，离子的热运动只有副作用。光催化氧化可在室温下将水、空气和泥土中有机污染物完全氧化成无毒无害的产物，而传统的高温焚烧技术则需要在极高的温度下才可将污染物摧毁，即使用常规的催化、氧化方法亦需要几百度的高温。合用范围：水溶性、有组织排放源的恶臭气体。其中高温等离子体的电离度接近1，各种粒子温度几乎相同系处于热力学平衡状态，它主要应用在受控热核反应研究方面。
优点：工艺简朴，治理利便，设备运转用度低产生二次污染，需对洗涤液进行处理。缺点：受到曝气强度的限制，该法的应用还有一定局限。等离子体就是处于电离状态的气体，其英文名称是plasma，它是由美国科学muir，于1927年在研究低气压下汞蒸气中放电现象时命名的。低温等离富含电子、离子、自由基和激发态分子，其中高能电子与气体分子（原子）发生撞，将能量转换成基态分子（原子）的内能，发生激发、离解和电离等一系列过秸处于活化状态。这为废气处理设备一些需要很大活化能的反应如大气中难降解污染物的去除提供了另外也可以对低浓度、高流速、大风量的含挥发性有机污染物和含硫类污染物等进行处理。
缺点：净化效率低，应与其他技术联合使用，对硫醇，脂肪酸等处理效果差。废气处理设备的工作原理是将气体中的污染物质分离出来,转化为无害物质,以达到净化气体的目的.废气处理设备的工作原理是将气体中的污染物质分离出来，转化为无害物质，以达到净化气体的目的。它属于微分接触逆流式，塔体内的填料是气液两相接触的基本构件。它能提供足够大的表面积，对气体流动又不致造成过大的阻力。吸收剂是处理废气的主要媒体，它的性质和浓度是根据不同废气的性质来选配，其处理单位气体的耗用量，是通过计算吸收剂与惰性气体的摩尔流量的比值来确定的。废气由风管吸入，自下而上穿过填料层；循环吸收剂由塔顶通过液体分布器，均匀地喷淋到填料层中，沿着填料层表面向下流动，进入循环水箱。由于上升气流和下降吸收剂在填料中不断接触，上升气流中流质的浓度越来越低，到塔顶时达到排放要求。